روش BDT در تصویر‌برداری SEM

دانلود فایل PDF مقاله

 

تکنولوژی کاهش سرعت پرتو (Beam Deceleration Technology) در تصویربرداری SEM با بالاترین قدرت تفکیک  از نمونه های زیستی بدون تخریب آنها می باشد.

دراین فناوری،  یک ولتاژ بایاس منفی روی نمونه اعمال می شودکه باعث کاهش انرژی پرتو فرودی می شود. در نتیجه الکترون های ساطع شده از نمونه اعم از بازگشتی و ثانویه انرژی کمی در حد الکترون های ثانویه (کمتر از ۵۰ الکترون ولت) دارند.

BDT کارایی ستون الکترونی در میکروسکوپ را با کاهش انحراف نوری افزایش می‌دهد. بدین ترتیب قادر به  تصویر‌‌برداری با رزولوشن بالا در نقاط کوچک و در انرژی‌های پایین است.

پرتوهای با انرژی کم برای کاهش اثرات شارژ در نمونه‌های غیررسانا و نمونه‌های حساس به پرتو از قبیل لایه‌های ترانزیستور در مقطع عرضی مدار‌های یکپارچه برای بررسی شکست، ماده‌های دی‌الکتریک با ثابت دی‌الکتریک کم و فوتورزیستور‌ها استفاده می‌شود. روش کاهش سرعت پرتو به طور خاص مناسب نمونه‌های زیستی در وضعیت لایه‌نشانی نشده با پرتوهای با انرژی خیلی کم است که به نمونه صدمه‌‌ای وارد نمی‌شود. در‌‌این حالت بیشترین رزولوشن در پرتوهای با انرژی کم در ازای بیشترین حساسیت سطحی، توپوگرافی عالی و کنتراست ماده بدست می‌‌آید.

عکس بالا: توپ‌های قلع بر روی بستر کربنی که در حالت BDT در تصویر‌برداری SEM در 1 keV با استفاده از آشکارساز الکترونهای ثانویه تصویر برداری شده‌اند و اطلاعات توپوگرافیک به همراه اثر معمول لبه‌‌ای را در اختیار می‌گذارند.

عکس پایین: توپ‌های قلع بر روی بستر کربنی که در حالت BDT در 1 keV با استفاده از آشکارساز الکترونهای ثانویه تصویر برداری شده‌اند که اطلاعات ترکیبی ماده را می‌دهند.

منبع:

http://www.tescan.com/en-us/technology/detectors/beam-deceleration-technology

در صورتی که مایل به انجام تست SEM در تمادکالا هستید، اینجا کلیک کنید.

برای دریافت مشاوره رایگان در مورد آنالیزهای مختلف اینجا کلیک کنید.

دریافت آنالیز SEM

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۵ از ۵
برچسب ها :،

مقاله های تمادکالا

شباهت و تفاوت طیف سنجی رامان و مادون قرمز در این مقاله به طور دقیق با شباهت و تفاوت طیف سنجی رامان و مادون قرمز آشنا می شوید و همچنین می توانید از خدمات آنالیز شرکت تماد کالا استفاده کنید. برانگیختگی های انجام شده در اثر پراکندگی رامان در طول موج (عدد موجی) محدوده طیفی مادون […]

واحد اندازه گیری طول چیست؟ تعداد واحد های اندازه گیری طول زیاد است. بدلیل همین تعداد زیاد نیز حفظ کردن و به یاد سپردن تمامی آنها بسیار سخت خواهد بود. به همین دلیل بر آن شدیم تا مقاله ای در این باره نگارش کنیم و در در آن تلاش شده تا تمامی واحدهای طول مطرح […]

در مقالات قبلی در خصوص کاربرد نانولوله های کربنی در صنعت از جمله صنعت ساختمان صحبت کردیم ، امروزه با پیشرفت نانوفناوری، محصولاتی گوناگون و با خواص منحصر به فردی وارد بازار شده است. یکی از زمینه هایی که ورود نانوفناوری به آن باعث بهینه سازی و صرفه جویی در هزینه ها شده است، صنعت […]

در مقاله پیش رو قصد داریم به معرفی حسگر گازی(سنسور گازی)، انواع و کاربرد های آن بپردازیم. همچنین به بررسی تاثیر فناوری نانو در بهبود آنها و موانع تجاری سازی آن بحث خواهیم کرد. حسگرهای گازی(سنسور گازی یا Gas Sensors) سطح زندگی انسانها نسبت به دهه های گذشته بعلت انقلاب صنعتی رشد کرده است. این […]

یک پاسخ به “روش BDT در تصویر‌برداری SEM”

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *

برخی از مشتریان تمادکالا