اصول عملکرد CVD(رسوب دهی بخار شیمیایی) (مقاله و ویدئو)

تاریخ انتشار:7 شهریور 1396

تعداد بازدید:[post-views]

دسته بندی: مقالات مفید،ویدئو

رسوب دهی شیمیایی بخار (Chemical Vapor Deposition) از ابتدا به عنوان یک راه موثر برای ساخت طیف وسیعی از قطعات و محصولات به عنوان یک فرآیند تولید جدید در چندین بخش صنعتی شامل صنعت نیمه هادی، صنعت سرامیک و غیره توسعه داده شده است. روش فوق بر اثر تلاش زیاد محققان دانشگاهی و صنعت در واحد های تحقیق و توسعه از گستره اولیه خود در صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک بسیار فراتر رفته است. از دلایل توسعه پذیر بودن روش های CVD می توان به توانایی تولید لایه هایی با تنوع زیاد ،پوشش فلزات، نیمه رسانا ها و ساخت لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی اشاره کرد. لایه های ایجاد شده معمولا در شکل بلوری یا شیشه ای (آمورف) و با کنترل خواص مطلوب بدست می آیند.
CVD جزء تکنیک هایی است که به طور نسبی پیشرفت زیادی داشته است. به طور کلی در روش CVD، یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار (و یا بر سطح بستر) بوجود می آید. تشکیل دوده به دلیل اکسید شدن ناقص هیزم در حال سوختن، در زمان های قبل از میلاد احتمالا قدیمی ترین نمونه رسوب گذاری با استفاده از CVD می باشد.

در ساده ترین صورت آن، CVD شامل جریان گاز یا گازهای پیش ماده در یک محفظه (Chamber) است. در محفظه فوق یک یا چند سطح گرم که قرار است پوشش دهی شوند، وجود دارد. در این روش واکنش های شیمیایی بر روی (و یا در نزدیکی) سطوح داغ رخ می دهد. در نتیجه رسوب به صورت یک فیلم نازک بر روی سطح به وجود می آید. این فرآیند منجر به تولید مواد شیمیایی می شود. همچنین مواد زائد و محصولات جانبی نیز بوجود می آیند که از محفظه، همراه با گازهای پیش ماده که واکنش نداده اند خارج می شود. رسوب دهی به طور معمول در دماهای حدود 1000 درجه سانتیگراد انجام می پذیرد. برخلاف رسوب دهی فیزیکی فاز بخار (PVD) که فرایندهایی مانند تبخیر، پراکنش و تصعید را شامل می شود، روش CVD دربرگیرنده تغییرات (واکنش های) شیمیایی در پیش ماده (یا بین پیش ماده ها) است.

منبع:

http://edu.nano.ir/paper/388

به محتوای این صفحه امتیاز دهید

۳.۸۹ از ۵

برچسب ها :رسوب دهی

عضویت در خبرنامه برای دریافت کدهای تخفیف و اطلاع از جشنواره ها و محصولات جدید در خبرنامه تمادکالا عضو شوید.

مقاله های تمادکالا

راهنمای انتخاب فیلتر سر سرنگی

9 خرداد 1400

فیلتر سر سرنگی چیست و چه کاربردی دارد؟ فیلتر سر سرنگی به شکل یک چرخ است، و به همین علت، گاهی اوقات فیلتر چرخی نیز نامیده می شود. این فیلترها، یکبار مصرف هستند و کارتریج فیلتر مبتنی بر فیلتراسیون با غشاء است. این فیلتر از یک سمت به سر یک سرنگ وصل می‌شود و از […]

مبرد(کندانسور) چیست؟ | انواع مبرد

19 آبان 1397

مبرد، کندانسور، چگالنده یا لوله تقطیر یکی از وسایل پرکاربرد در آزمایشگاه است که معمولا برای خالص سازی مایعات استفاده میشود. در مقاله پیش‌رو به معرفی مبرد، انواع آن و کاربردهای آن خواهیم پرداخت. مبرد وسیله ای است که به کمک آن، گازها را میعان میکنند. گاز مورد نظر وارد کندانسور شده و با قرارگیری […]

مواد شیمیایی ضد جلبک استخر

30 تیر 1398

جلبک ها یکی از مشکلات بزرگ و اساسی استخرها هستند. وجود این جلبک ها باعث سبز شدن رنگ آب و کدرتر دیده شدن آن میشود. در مقاله پیش رو به معرفی اصلی ترین ماده شیمیایی ضد جلبک استخر، یعنی کات کبود، و روش استفاده از آن خواهیم پرداخت. کات کبود یا سولفات مس، یکی از […]

انواع ماسک برای کاهش خطر انتقال ویروس

24 فروردین 1399

ماسک برای کاهش خطر انتقال ویروس کرونا ویروس مدتی است ویروس کرونا مردم کل جهان را درگیر کرده و باعث اختلال در روند معمول زندگی شان شده است. کرونا ویروس به خانواده بزرگی از ویروس ها گفته می شود که در بدن پرندگان و پستانداران قابلیت شیوع و انتقال داشته و ویروس سرماخوردگی تا سارس […]