اصول عملکرد CVD(رسوب دهی بخار شیمیایی) (مقاله و ویدئو)

 

رسوب دهی شیمیایی بخار (Chemical Vapor Deposition) از ابتدا به عنوان یک راه موثر برای ساخت طیف وسیعی از قطعات و محصولات به عنوان یک فرآیند تولید جدید در چندین بخش صنعتی شامل صنعت نیمه هادی، صنعت سرامیک و غیره توسعه داده شده است. روش فوق بر اثر تلاش زیاد محققان دانشگاهی و صنعت در واحد های تحقیق و توسعه از گستره اولیه خود در صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک بسیار فراتر رفته است. از دلایل توسعه پذیر بودن روش های CVD می توان به توانایی تولید لایه هایی با تنوع زیاد ،پوشش فلزات، نیمه رسانا ها و ساخت لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی اشاره کرد. لایه های ایجاد شده معمولا در شکل بلوری یا شیشه ای (آمورف) و با کنترل خواص مطلوب بدست می آیند.
CVD جزء تکنیک هایی است که به طور نسبی پیشرفت زیادی داشته است. به طور کلی در روش CVD، یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار (و یا بر سطح بستر) بوجود می آید. تشکیل دوده به دلیل اکسید شدن ناقص هیزم در حال سوختن، در زمان های قبل از میلاد احتمالا قدیمی ترین نمونه رسوب گذاری با استفاده از CVD می باشد.

در ساده ترین صورت آن، CVD شامل جریان گاز یا گازهای پیش ماده در یک محفظه (Chamber) است. در محفظه فوق یک یا چند سطح گرم که قرار است پوشش دهی شوند، وجود دارد. در این روش واکنش های شیمیایی بر روی (و یا در نزدیکی) سطوح داغ رخ می دهد. در نتیجه رسوب به صورت یک فیلم نازک بر روی سطح به وجود می آید. این فرآیند منجر به تولید مواد شیمیایی می شود. همچنین مواد زائد و محصولات جانبی نیز بوجود می آیند که از محفظه، همراه با گازهای پیش ماده که واکنش نداده اند خارج می شود. رسوب دهی به طور معمول در دماهای حدود 1000 درجه سانتیگراد انجام می پذیرد. برخلاف رسوب دهی فیزیکی فاز بخار (PVD) که فرایندهایی مانند تبخیر، پراکنش و تصعید را شامل می شود، روش CVD دربرگیرنده تغییرات (واکنش های) شیمیایی در پیش ماده (یا بین پیش ماده ها) است.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/388

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۳.۸۹ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

چهارشنبه سوری کم خطر با تمادکالا چهارشنبه سوری، از قدیمی ترین رسوم ایران باستان است. این جشن از غروب آخرین سه شنبه سال تا پس از نیمه شب آخرین چهارشنبه سال است و از اصلی ترین مشخصات این رسم، برپا کردن آتش و پریدن از روی آن است. این رسم در ایران باستان، به عنوان […]

گرفتگی لوله‌های آشپزخانه و فاضلاب و در پی آن، بوی نامطبوع و تجمع مواد برای تمام انسان‌ها آزار دهنده است. یک راه حل سریع و واضح در چنین مواردی این است که با لوله کش تماس بگیرید و مقداری هزینه هم پرداخت نمایید. در حالی که این یک گزینه معقول است؛ اما کارهای دیگری هم […]

تعریف آون(فور) آون یا فور خشک کننده یکی از وسایل ضروری در آزمایشگاه ها است که برای خشک کردن و استریل کردن ظروف شیشه ای و فلزی به کار برده می‌شود. آون(فور) در تمام آزمایشگاه های پژوهشی و صنعتی مورد استفاده قرار می‌گیرد و اینکه چه طور وسایل آزمایشگاهی و مواد را خشک و یا […]

یکی از آزمایش هایی که در دوران دبستان و راهنمایی در آزمایشگاه های علوم انجام می شود، آزمایش ساخت کوه آتشفشان توسط آمونیوم دی کرومات می باشد. در ابتدا به خواص و ویژگی های آمونیوم دی کرومات پرداخته و سپس به سراغ روش انجام آزمایش می رویم. آمونیوم دی کرومات آمونیوم دی کرومات یک ترکیب […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا