اصول عملکرد CVD(رسوب دهی بخار شیمیایی) (مقاله و ویدئو)

 

رسوب دهی شیمیایی بخار (Chemical Vapor Deposition) از ابتدا به عنوان یک راه موثر برای ساخت طیف وسیعی از قطعات و محصولات به عنوان یک فرآیند تولید جدید در چندین بخش صنعتی شامل صنعت نیمه هادی، صنعت سرامیک و غیره توسعه داده شده است. روش فوق بر اثر تلاش زیاد محققان دانشگاهی و صنعت در واحد های تحقیق و توسعه از گستره اولیه خود در صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک بسیار فراتر رفته است. از دلایل توسعه پذیر بودن روش های CVD می توان به توانایی تولید لایه هایی با تنوع زیاد ،پوشش فلزات، نیمه رسانا ها و ساخت لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی اشاره کرد. لایه های ایجاد شده معمولا در شکل بلوری یا شیشه ای (آمورف) و با کنترل خواص مطلوب بدست می آیند.
CVD جزء تکنیک هایی است که به طور نسبی پیشرفت زیادی داشته است. به طور کلی در روش CVD، یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار (و یا بر سطح بستر) بوجود می آید. تشکیل دوده به دلیل اکسید شدن ناقص هیزم در حال سوختن، در زمان های قبل از میلاد احتمالا قدیمی ترین نمونه رسوب گذاری با استفاده از CVD می باشد.

در ساده ترین صورت آن، CVD شامل جریان گاز یا گازهای پیش ماده در یک محفظه (Chamber) است. در محفظه فوق یک یا چند سطح گرم که قرار است پوشش دهی شوند، وجود دارد. در این روش واکنش های شیمیایی بر روی (و یا در نزدیکی) سطوح داغ رخ می دهد. در نتیجه رسوب به صورت یک فیلم نازک بر روی سطح به وجود می آید. این فرآیند منجر به تولید مواد شیمیایی می شود. همچنین مواد زائد و محصولات جانبی نیز بوجود می آیند که از محفظه، همراه با گازهای پیش ماده که واکنش نداده اند خارج می شود. رسوب دهی به طور معمول در دماهای حدود 1000 درجه سانتیگراد انجام می پذیرد. برخلاف رسوب دهی فیزیکی فاز بخار (PVD) که فرایندهایی مانند تبخیر، پراکنش و تصعید را شامل می شود، روش CVD دربرگیرنده تغییرات (واکنش های) شیمیایی در پیش ماده (یا بین پیش ماده ها) است.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/388

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۳.۸۹ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

استفاده از کود ها در صنعت کشاورزی امروزه بسیار مورد توجه بوده است درختان برای بار دهی مناسب و عالی علاوه بر خاک مناسب و نور و شرایط آب و هوا نیاز به استفاده از کود نیز دارند. یکی از مناسب ترین کود های تقویت خاک درختان و گیاهان کود گوگرد گرانوله است که این […]

شاید برای خیلی ها این سوال پیش آمده باشد که به چه موادی “نانو مواد” می گویند و اصلا “نانو” به چه معنی است؟ قصد داریم در مقاله پیش رو توضیحاتی در مورد فناوری نانو و نانومواد بدهیم. علم و فناوری نانو به دستکاری و تغییر مواد و باالتبع خواص آنها در ابعاد کوچک(نانو) گفته […]

طلا یکی از فلزات با ارزش جدول تناوبی است که در حالت معمول به رنگ زرد دیده شده و در حالت خالص بسیار نرم است. این فلز در دمای 1046درجه سانتی گراد ذوب شده و از ویژگی های آن می توان به هدایت الکتریکی بالای آن اشاره کرد. تمامی خواص ذکر شده تنها در مقیاس […]

خاصیت ضد میکروبی نقره از دیرباز شناخته شده بود و به همین دلیل هم در بسیاری موارد مورد استفاده قرار می گرفت. امروز با پیشرفت فناوری و تولید نانوذرات نقره، خاصیت آنتی باکتریال آن بسیار افزایش یافته است. نانوذرات نقره با توجه به اینکه نسبت سطح به حجمشان افزایش یافته است، خاصیت ضد میکروبی و […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا