اصول عملکرد CVD(رسوب دهی بخار شیمیایی) (مقاله و ویدئو)

 

رسوب دهی شیمیایی بخار (Chemical Vapor Deposition) از ابتدا به عنوان یک راه موثر برای ساخت طیف وسیعی از قطعات و محصولات به عنوان یک فرآیند تولید جدید در چندین بخش صنعتی شامل صنعت نیمه هادی، صنعت سرامیک و غیره توسعه داده شده است. روش فوق بر اثر تلاش زیاد محققان دانشگاهی و صنعت در واحد های تحقیق و توسعه از گستره اولیه خود در صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک بسیار فراتر رفته است. از دلایل توسعه پذیر بودن روش های CVD می توان به توانایی تولید لایه هایی با تنوع زیاد ،پوشش فلزات، نیمه رسانا ها و ساخت لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی اشاره کرد. لایه های ایجاد شده معمولا در شکل بلوری یا شیشه ای (آمورف) و با کنترل خواص مطلوب بدست می آیند.
CVD جزء تکنیک هایی است که به طور نسبی پیشرفت زیادی داشته است. به طور کلی در روش CVD، یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار (و یا بر سطح بستر) بوجود می آید. تشکیل دوده به دلیل اکسید شدن ناقص هیزم در حال سوختن، در زمان های قبل از میلاد احتمالا قدیمی ترین نمونه رسوب گذاری با استفاده از CVD می باشد.

در ساده ترین صورت آن، CVD شامل جریان گاز یا گازهای پیش ماده در یک محفظه (Chamber) است. در محفظه فوق یک یا چند سطح گرم که قرار است پوشش دهی شوند، وجود دارد. در این روش واکنش های شیمیایی بر روی (و یا در نزدیکی) سطوح داغ رخ می دهد. در نتیجه رسوب به صورت یک فیلم نازک بر روی سطح به وجود می آید. این فرآیند منجر به تولید مواد شیمیایی می شود. همچنین مواد زائد و محصولات جانبی نیز بوجود می آیند که از محفظه، همراه با گازهای پیش ماده که واکنش نداده اند خارج می شود. رسوب دهی به طور معمول در دماهای حدود 1000 درجه سانتیگراد انجام می پذیرد. برخلاف رسوب دهی فیزیکی فاز بخار (PVD) که فرایندهایی مانند تبخیر، پراکنش و تصعید را شامل می شود، روش CVD دربرگیرنده تغییرات (واکنش های) شیمیایی در پیش ماده (یا بین پیش ماده ها) است.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/388

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۳.۸۹ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

کوره آزمایشگاهی چیست؟ کوره آزمایشگاهی (laboratory Furnace ) یکی از تجهیزاتی است که در آزمایشگاه ها کاملا کاربردی بوده و بسیار مورد استفاده قرار می گیرد و وسیله‌ای برای انجام انواع آزمایشگاه‌های عمومی و تخصصی به حساب می آید. این وسیله یک جزء جدانشدنی و ضروری در هر آزمایشگاه بوده که دارای اهمیت و کارایی […]

کروماتوگرافی روشی برای جداسازی اجرای یک مایع یا گاز از یکدیگر است. در این روش معمولا ماده ای که قصد جداسازی آنرا داریم، از یک توری یا لوله عبور کرده و در طی این فرآیند، اجزای ماده، با توجه به سرعت های مختلف حرکتشان در محیط، جداسازی میشوند. در مقاله پیش رو به معرفی روش […]

مقدمه: طرح اعتبار خرید مواد شیمیایی، ظروف، تجهیزات و خدمات آنالیز بدون نیاز به تسویه آنی، یکی از طرح های مصوب در شرکت توسعه مهندسی الماس واره دانش جهت کمک به پیشبرد و همچنین رفع موانع پژوهش می باشد. نتایج این طرح با توجه به مطالعه میدانی از اساتید و دانشجویان دانشگاه های مختلف در […]

بسیار پیش می‌آید که فرش یا مبلمان در اثر بی دقتی، هول شدن، بازی کردن بچه کوچک و … کثیف می‌شوند. این کثیفی‌ها شامل  ریختن چای و قهوه، بستنی و خورشت و … می‌تواند باشد. اما با وجودی که یک بخشی از فرش یا مبلمان کثیف شده است، اما شستن تمام فرش معمولا راه منطقی […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا