روش BDT در تصویر‌برداری SEM

دانلود فایل PDF مقاله

 

تکنولوژی کاهش سرعت پرتو (Beam Deceleration Technology) در تصویربرداری SEM با بالاترین قدرت تفکیک  از نمونه های زیستی بدون تخریب آنها می باشد.

دراین فناوری،  یک ولتاژ بایاس منفی روی نمونه اعمال می شودکه باعث کاهش انرژی پرتو فرودی می شود. در نتیجه الکترون های ساطع شده از نمونه اعم از بازگشتی و ثانویه انرژی کمی در حد الکترون های ثانویه (کمتر از ۵۰ الکترون ولت) دارند.

BDT کارایی ستون الکترونی در میکروسکوپ را با کاهش انحراف نوری افزایش می‌دهد. بدین ترتیب قادر به  تصویر‌‌برداری با رزولوشن بالا در نقاط کوچک و در انرژی‌های پایین است.

پرتوهای با انرژی کم برای کاهش اثرات شارژ در نمونه‌های غیررسانا و نمونه‌های حساس به پرتو از قبیل لایه‌های ترانزیستور در مقطع عرضی مدار‌های یکپارچه برای بررسی شکست، ماده‌های دی‌الکتریک با ثابت دی‌الکتریک کم و فوتورزیستور‌ها استفاده می‌شود. روش کاهش سرعت پرتو به طور خاص مناسب نمونه‌های زیستی در وضعیت لایه‌نشانی نشده با پرتوهای با انرژی خیلی کم است که به نمونه صدمه‌‌ای وارد نمی‌شود. در‌‌این حالت بیشترین رزولوشن در پرتوهای با انرژی کم در ازای بیشترین حساسیت سطحی، توپوگرافی عالی و کنتراست ماده بدست می‌‌آید.

عکس بالا: توپ‌های قلع بر روی بستر کربنی که در حالت BDT در تصویر‌برداری SEM در 1 keV با استفاده از آشکارساز الکترونهای ثانویه تصویر برداری شده‌اند و اطلاعات توپوگرافیک به همراه اثر معمول لبه‌‌ای را در اختیار می‌گذارند.

عکس پایین: توپ‌های قلع بر روی بستر کربنی که در حالت BDT در 1 keV با استفاده از آشکارساز الکترونهای ثانویه تصویر برداری شده‌اند که اطلاعات ترکیبی ماده را می‌دهند.

منبع:

http://www.tescan.com/en-us/technology/detectors/beam-deceleration-technology

در صورتی که مایل به انجام تست SEM در تمادکالا هستید، اینجا کلیک کنید.

برای دریافت مشاوره رایگان در مورد آنالیزهای مختلف اینجا کلیک کنید.

دریافت آنالیز SEM

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۵ از ۵
برچسب ها :،

مقاله های تمادکالا

عاملهای تجربی موثر در نتایج آنالیزهای حرارتی نتایج آنالیز حرارتی تحت تأثیر عواملی نظیر ابعاد و جرم نمونه، نرخ‌های گرمادهی (یا سرمادهی)، فضای محیط نمونه و حتی سابقه حرارتی و مکانیکی نمونه، قرار میگیرد. متقاضیان گرامی باید هنگام سفارش به این نکته توجه کنند. در صورت یکسان نبودن عاملهای دستگاهی و تجربی، بدست آوردن نتایج […]

آمونیاک (NH3) با نام های Hydrogen nitride ، Trihydrogen nitride گازی سمی بی رنگ از یک ترکیب هیدروژنه نیتروژن دار با حلالیت بالا در آب است که به شکل ظاهری گازی و مایع است. آمونیاک در اصل در فشار و دمای معمولی اتاق حالت گازی دارد، ولی در اثر فشرده سازی این گاز و سرد […]

نگهداری مواد شیمیایی یکی از چالش های بزرگ در آزمایشگاه ها است. ظروف مختلفی در آزمایشگاه ها وجود دارند که از هرکدام آنها میتوان برای نگهداری مواد مختلفی استفاده کرد. در مقاله پیشرو شما را با این ظروف و کاربرد آنها در نگهداری هرکدام از مواد شیمیایی آشنا خواهیم کرد. ابتدا نگاهی به لیست ظروف […]

تصویربرداری XPS از ترکیب ­ها طیف­ سنجی فوتو­الکترونی پرتو ایکس و طیف­ سنجی الکترونی اوژه را همچنین می­توان برای آنالیز توزیع عنصرهای شیمیایی روی سطوح از طریق تولید نقشه­ های ترکیب، همانند میکروسکوپ الکترونی مورد استفاده قرار داد. نقشه­ های ترکیب بیشتر از طریق روبش سطح نمونه با پرتوهای متمرکز به­ دست می­آیند. قدرت تفکیک […]

یک پاسخ به “روش BDT در تصویر‌برداری SEM”

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد. بخش‌های موردنیاز علامت‌گذاری شده‌اند *

برخی از مشتریان تمادکالا