فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

بسیاری از مردم خوردن خوراکی‌های دلپذیر را دوست دارند و تعطیلات نوروزی فرصت مناسبی برای بازیابی است؛ اما دقت کنید که اگر حتی روزانه 200 کالری بیشتر از حد معمولی مصرف کنید، در انتهای تعطیلات احتمالا دچار اضافه وزن خواهید شد. بسیاری از افراد در اثر ناپرهیزی‌هایی که در مناسبت‌های خاص دوره‌ای مانند تعطیلات نوروز […]

کات کبود یا مس(||)سولفات که فرمول شیمیایی آن CuSO45 آبه می­باشد نمکی آبی رنگ است که به صورت گرماده در آب حل می­شود. سولفات مس یا زاج کبود ترکیبی غیرآلی است که در حیطه­های مختلفی از جمله صنعت، آموزش، کشاورزی و حتی پزشکی به کار می­رود. سولفات مس دارای خاصیتی سمی است که میزان سمیت […]

طلا یکی از فلزات با ارزش جدول تناوبی است که در حالت معمول به رنگ زرد دیده شده و در حالت خالص بسیار نرم است. این فلز در دمای 1046درجه سانتی گراد ذوب شده و از ویژگی های آن می توان به هدایت الکتریکی بالای آن اشاره کرد. تمامی خواص ذکر شده تنها در مقیاس […]

فیلتر های سرسرنگی دسته ای از فیلتر ها هستند که برای فیلتر کردن مایعات با حجم پایین بسیار مناسب هستند. در مقاله پیش رو شما را با این فیلتر ها بیشتر آشنا می کنیم. فیلتر سر سرنگی چیست؟ فیلتر های سرسرنگی به فیلتر هایی گفته می شود که در سر سرنگ ها متصل می شوند […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا