فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

آب اکسیژنه یکی از مواد بسیار پر مصرف در زندگی روزانه است. ماده ای که ممکن است بوی آن برای بسیاری از ما آشنا باشد اما هرگز نام آن را نمی دانستیم. در این مقاله قصد داریم شما را با آب اکسیژنه آشنا کنیم و درباره یکی از بزرگترین کاربردهای آن که ضدعفونی کنند‌گی است […]

انواع دستکش کار

22 شهریور 1399
انواع دستکش کار

امروزه یک امر مهم در صنعت، داشتن دستکش کار (دستکش ایمنی) است ، زیرا دست اولین عضوی است که در معرض اسیب قرار می‌گیرد و بیشترین صدمات کاری را به خود اختصاص می‌دهد. یرای هر صنعت و شغل ، دستکش کار مخصوص به آن وجود دارد. شما ممکن است در صنعت شیمیایی مشغول به فعالیت […]

امروزه در کشور ایران با بالارفتن قیمت اجناس به طور روزمره، حفظ کردن وسایل مصرفی از استهلاک و تخریب شده، مهم است و باید برای تحقق این مهم راهکارهایی اتخاذ شود. در این میان لاستیک خودرو و موتور و حتی وسایل نقلیه سنگین استثنا نیست و مشابه سایر وسایل راهکارهایی برای افزایش طول عمر و […]

هیچ چکیده‌ای موجود نیست زیرا‌این یک نوشته حفاظت شده است.

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا