فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

امروزه به دلیل زایمان های سزارین و همچنین افزایش تولد زودرس در نوزادان، توصیه ی پزشکان این است که نوزاد 72 ساعت در دستگاه انکوباتور نوزاد تحت مراقبت باشد و بلافاصله در محیط بیرون قرار نگیرد. دستگاه انکوباتور نوزاد دستگاهی است دارای محفظه بسته که با کنترل دما و رطوبت داخل آن، مناسب برای نگهداری […]

چهارشنبه سوری کم خطر با تمادکالا چهارشنبه سوری، از قدیمی ترین رسوم ایران باستان است. این جشن از غروب آخرین سه شنبه سال تا پس از نیمه شب آخرین چهارشنبه سال است و از اصلی ترین مشخصات این رسم، برپا کردن آتش و پریدن از روی آن است. این رسم در ایران باستان، به عنوان […]

الکترونیک چاپی، فناوری جدیدی است که با سرعت خیره کنندهای در حال توسعه است و روند تغییرات آن در سالهای اخیر بسیاری از صنعتگران و مصرف کنندگان را به آینده این فناوری امیدوار کرده است. از پیشرفتهای کثیر این فناوری می توان به پیشرفت در صنعت الکترونیک اشاره کرد، که موجب ارزان سازی، انعطاف پذیری، […]

یکی از مکان هایی که می تواند باعث انتقال خیلی از بیماری ها شود آرایشگاه است! که اگر بهداشت فردی و عمومی به درستی در آن رعایت شود این مسئله کاملا قابل حل است. انواع دستگاه استریل آرایشگاه مانند اتوکلاوها از تجهیزاتی هستند که مانع انتقال بسیاری از میکروب ها و بیماری ها از بدن […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا