اصول عملکرد CVD(رسوب دهی بخار شیمیایی) (مقاله و ویدئو)

 

رسوب دهی شیمیایی بخار (Chemical Vapor Deposition) از ابتدا به عنوان یک راه موثر برای ساخت طیف وسیعی از قطعات و محصولات به عنوان یک فرآیند تولید جدید در چندین بخش صنعتی شامل صنعت نیمه هادی، صنعت سرامیک و غیره توسعه داده شده است. روش فوق بر اثر تلاش زیاد محققان دانشگاهی و صنعت در واحد های تحقیق و توسعه از گستره اولیه خود در صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک بسیار فراتر رفته است. از دلایل توسعه پذیر بودن روش های CVD می توان به توانایی تولید لایه هایی با تنوع زیاد ،پوشش فلزات، نیمه رسانا ها و ساخت لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی اشاره کرد. لایه های ایجاد شده معمولا در شکل بلوری یا شیشه ای (آمورف) و با کنترل خواص مطلوب بدست می آیند.
CVD جزء تکنیک هایی است که به طور نسبی پیشرفت زیادی داشته است. به طور کلی در روش CVD، یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار (و یا بر سطح بستر) بوجود می آید. تشکیل دوده به دلیل اکسید شدن ناقص هیزم در حال سوختن، در زمان های قبل از میلاد احتمالا قدیمی ترین نمونه رسوب گذاری با استفاده از CVD می باشد.

در ساده ترین صورت آن، CVD شامل جریان گاز یا گازهای پیش ماده در یک محفظه (Chamber) است. در محفظه فوق یک یا چند سطح گرم که قرار است پوشش دهی شوند، وجود دارد. در این روش واکنش های شیمیایی بر روی (و یا در نزدیکی) سطوح داغ رخ می دهد. در نتیجه رسوب به صورت یک فیلم نازک بر روی سطح به وجود می آید. این فرآیند منجر به تولید مواد شیمیایی می شود. همچنین مواد زائد و محصولات جانبی نیز بوجود می آیند که از محفظه، همراه با گازهای پیش ماده که واکنش نداده اند خارج می شود. رسوب دهی به طور معمول در دماهای حدود 1000 درجه سانتیگراد انجام می پذیرد. برخلاف رسوب دهی فیزیکی فاز بخار (PVD) که فرایندهایی مانند تبخیر، پراکنش و تصعید را شامل می شود، روش CVD دربرگیرنده تغییرات (واکنش های) شیمیایی در پیش ماده (یا بین پیش ماده ها) است.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/388

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۳.۸۹ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

یکی از وسایل مصرفی بسیار پرکاربرد در آزمایشگاه ها، پزشکی و خانه، دستکش های یکبار مصرف هستند. این دستکش ها دارای انواع مختلفی هستند که هرکدام ممکن است برای کاربردهای خاصی مورد استفاده قرار بگیرند. در مقاله پیش رو به معرفی انواع این دستکش ها، برندهای معروف و کاربردهای آنها خواهیم پرداخت. فروش محلول ضدعفونی […]

امروزه در کشور ایران با بالارفتن قیمت اجناس به طور روزمره، حفظ کردن وسایل مصرفی از استهلاک و تخریب شده، مهم است و باید برای تحقق این مهم راهکارهایی اتخاذ شود. در این میان لاستیک خودرو و موتور و حتی وسایل نقلیه سنگین استثنا نیست و مشابه سایر وسایل راهکارهایی برای افزایش طول عمر و […]

انتخاب سایز کفش مساله بسیار مهمی است. در صورتی که سایز کفش مناسب اندازه پای شما نباشد، ممکن است صدمات بسیار بدی به پاها، زانو، لگن و ستون فقرات شما وارد شود. به همین دلیل است که تصمیم گرفتیم تا مقاله ای برای انتخاب سایز کفش و آشنایی با انواع قالب ها و استانداردهای سایز […]

این روزها یکی از دغدغه های اصلی جوامع بشری اضافه وزن و عدم تناسب اندام است. برای رسیدن به اندامی متناسب روش های زیادی اعم از رژیم های غذایی، انواع ورزش ها،عمل جراحی و … وجود دارد که می توان با استفاده از آنها لاغر شد. این روش ها هر کدام مکانیسم متفاوتی دارند و […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا