اصول عملکرد CVD(رسوب دهی بخار شیمیایی) (مقاله و ویدئو)

 

رسوب دهی شیمیایی بخار (Chemical Vapor Deposition) از ابتدا به عنوان یک راه موثر برای ساخت طیف وسیعی از قطعات و محصولات به عنوان یک فرآیند تولید جدید در چندین بخش صنعتی شامل صنعت نیمه هادی، صنعت سرامیک و غیره توسعه داده شده است. روش فوق بر اثر تلاش زیاد محققان دانشگاهی و صنعت در واحد های تحقیق و توسعه از گستره اولیه خود در صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک بسیار فراتر رفته است. از دلایل توسعه پذیر بودن روش های CVD می توان به توانایی تولید لایه هایی با تنوع زیاد ،پوشش فلزات، نیمه رسانا ها و ساخت لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی اشاره کرد. لایه های ایجاد شده معمولا در شکل بلوری یا شیشه ای (آمورف) و با کنترل خواص مطلوب بدست می آیند.
CVD جزء تکنیک هایی است که به طور نسبی پیشرفت زیادی داشته است. به طور کلی در روش CVD، یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار (و یا بر سطح بستر) بوجود می آید. تشکیل دوده به دلیل اکسید شدن ناقص هیزم در حال سوختن، در زمان های قبل از میلاد احتمالا قدیمی ترین نمونه رسوب گذاری با استفاده از CVD می باشد.

در ساده ترین صورت آن، CVD شامل جریان گاز یا گازهای پیش ماده در یک محفظه (Chamber) است. در محفظه فوق یک یا چند سطح گرم که قرار است پوشش دهی شوند، وجود دارد. در این روش واکنش های شیمیایی بر روی (و یا در نزدیکی) سطوح داغ رخ می دهد. در نتیجه رسوب به صورت یک فیلم نازک بر روی سطح به وجود می آید. این فرآیند منجر به تولید مواد شیمیایی می شود. همچنین مواد زائد و محصولات جانبی نیز بوجود می آیند که از محفظه، همراه با گازهای پیش ماده که واکنش نداده اند خارج می شود. رسوب دهی به طور معمول در دماهای حدود 1000 درجه سانتیگراد انجام می پذیرد. برخلاف رسوب دهی فیزیکی فاز بخار (PVD) که فرایندهایی مانند تبخیر، پراکنش و تصعید را شامل می شود، روش CVD دربرگیرنده تغییرات (واکنش های) شیمیایی در پیش ماده (یا بین پیش ماده ها) است.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/388

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۳.۸۹ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

انواع پیکنومتر پیکنومتر که نام دیگر آن بطری وزن مخصوص است، یک وسیله ی پر کاربرد آزمایشگاهی است که معمولا از جنس شیشه و شبیه به بالن ژوژه ساخته شده است. و به منظور اندازه گیری چگالی مایعات یا دانسیته مورد استفاده قرار می گیرد. پیکنومتر دارای درب شیاردار شیشه ای است و لوله ی […]

اگر در آزمایشگاه کار می کنید و یا در حال گذراندن کلاس های آزمایشگاهی هستید، با انواع مختلفی از ظروف شیشه ای رو به رو خواهید شد که هر یک دارای ویژگی های خاصی می باشد. دانستن تفاوت بین انواع ظروف شیشه ای به شما کمک می کند که آزمایشات را با کارایی بیشتری طراحی […]

یکی از راه های جلوگیری از ابتلا به انواع ویروس ها، باکتری ها و عوامل عفونی، ضد عفونی کردن دست ها و سطوج است. در این مقاله قصد داریم شما را با انواع ضد عفونی کنندها، روش استفاده و غلظت مناسب هرکدام از آنها آشنا کنیم. ویروس کرونا کشورهای زیادی را آلوده کرده است و […]

شیکر آزمایشگاهی چیست؟ یکی از وسیله های موجود در آزمایشگاه های شیمی و زیست شناسی شیکر آزمایشگاهی است. شیکر آزمایشگاهی برای بهم زدن و مخلوط کردن نمونه های مایع و محلول های موجود در آزمایشگاه بوده که بر اساس نوع چرخش و اندازه صفحه ی آن دارای انواع مختلفی است. فروش شیکر آزمایشگاهی انواع شیکر […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا