اصول عملکرد CVD(رسوب دهی بخار شیمیایی) (مقاله و ویدئو)

 

رسوب دهی شیمیایی بخار (Chemical Vapor Deposition) از ابتدا به عنوان یک راه موثر برای ساخت طیف وسیعی از قطعات و محصولات به عنوان یک فرآیند تولید جدید در چندین بخش صنعتی شامل صنعت نیمه هادی، صنعت سرامیک و غیره توسعه داده شده است. روش فوق بر اثر تلاش زیاد محققان دانشگاهی و صنعت در واحد های تحقیق و توسعه از گستره اولیه خود در صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک بسیار فراتر رفته است. از دلایل توسعه پذیر بودن روش های CVD می توان به توانایی تولید لایه هایی با تنوع زیاد ،پوشش فلزات، نیمه رسانا ها و ساخت لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی اشاره کرد. لایه های ایجاد شده معمولا در شکل بلوری یا شیشه ای (آمورف) و با کنترل خواص مطلوب بدست می آیند.
CVD جزء تکنیک هایی است که به طور نسبی پیشرفت زیادی داشته است. به طور کلی در روش CVD، یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار (و یا بر سطح بستر) بوجود می آید. تشکیل دوده به دلیل اکسید شدن ناقص هیزم در حال سوختن، در زمان های قبل از میلاد احتمالا قدیمی ترین نمونه رسوب گذاری با استفاده از CVD می باشد.

در ساده ترین صورت آن، CVD شامل جریان گاز یا گازهای پیش ماده در یک محفظه (Chamber) است. در محفظه فوق یک یا چند سطح گرم که قرار است پوشش دهی شوند، وجود دارد. در این روش واکنش های شیمیایی بر روی (و یا در نزدیکی) سطوح داغ رخ می دهد. در نتیجه رسوب به صورت یک فیلم نازک بر روی سطح به وجود می آید. این فرآیند منجر به تولید مواد شیمیایی می شود. همچنین مواد زائد و محصولات جانبی نیز بوجود می آیند که از محفظه، همراه با گازهای پیش ماده که واکنش نداده اند خارج می شود. رسوب دهی به طور معمول در دماهای حدود 1000 درجه سانتیگراد انجام می پذیرد. برخلاف رسوب دهی فیزیکی فاز بخار (PVD) که فرایندهایی مانند تبخیر، پراکنش و تصعید را شامل می شود، روش CVD دربرگیرنده تغییرات (واکنش های) شیمیایی در پیش ماده (یا بین پیش ماده ها) است.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/388

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۳.۸۹ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

اگر از آن دسته افرادی هستید که با مواد شیمیایی سروکار دارید شاید با این پرسش روبرو شوید که تفاوت اسید سیتریک و اسید استیک در چیست در ادامه با ویژگی های اسید سیتریک و اسید استیک و تفاوت این دو ماده آشنا می شوید. آشنایی با اسید سیتریک اسید ستریک یک اسید آلی با […]

مواد شیمیایی دارای کدبندی های بین المللی هستند که برای شناسایی مواد از این کد ها تحت عنوان “کدهای بین المللی مواد شیمیایی” استفاده می شود. در مقاله پیش رو به بررسی این سیستم های بین المللی می پردازیم. این کد های مواد شیمیایی برای شناسایی خطرات در حمل و نقل و یا استفاده ی […]

فعالیت هایی مثل کشت میکروب، سانتریفیوژ و یا تهیه اسید باعث ایجاد ذرات معلق در هوا می شوند که عامل اصلی بسیار ی از بیماری ها از جمله سرطان در پرسنل آزمایشگاه است. اما با نصب هود میکروبیولوژی می توانیم این ذرات را از هوا جدا کنیم و خطرات ناشی از آن ها را به […]

یکی از ابزار های مورد استفاده در آزمایشگاه های بیولوژی و میکروبیولوژی جهت کشت و رشد دادن نمونه هایی مانند بافت و میکروارگانیسم ها دستگاه انکوباتور(incubator) است. انکوباتور با کنترل کردن میزان رطوبت، دما، فشار هوا، میزان دی اکسید کربن و  میزان اکسیژن شرایط مورد نیاز برای زنده ماندن و رشد میکروارگانیسم ها فراهم می […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا