فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

هات پلیت یا هیتر آزمایشگاهی وسیله ای است که برای حرارت دهی در آزمایشگاه ها استفاده میشود. این وسیله به صورت یک صفجه فلزی است که زیر آن المنت قرار دارد و گرم می شود. برخی از این هات پلیت ها همزن مغناطیسی نیز دارند که با استفاده از آنها می توان حین حرارت دادن، […]

در مقاله انواع کود شیمیایی اطلاعات کاملی را درخصوص انواع کود شیمیایی کسب کردیم. از جمله کودهای شیمیایی کودهای ازتی همانند کود فسفات آمونیوم، کود اوره،کود نیترات آمونیوم است در ادامه به توضیح انها می پردازیم: کود فسفات آمونیوم یکی از بهترین کودها دارای خاصیت اسیدی برای شرایط خاک قلیایی است که برای خاک ایران […]

در این مقاله توضیحاتی پیرامون انواع میکروسکوپ های مختلف و مقایسه میکروسکوپ ها داده خواهد شد. میکروسکوپ‌های الکترونی ابزاری مناسب و کارآمد برای کسب اطلاع از ساختار مواد در دنیای نانو هستند. آنها با توجه به ماهیت نور مرئی و اساس کار میکروسکوپ‌های نوری نسبت به این گونه میکروسکوپ‌ها ارجحیت دارند. همان طور که می‌دانید […]

برهمکنش پرتو الکترونی با ماده میکروسکوپ‌های الکترونی ابزاری مناسب و کارآمد برای کسب اطلاع از ساختار مواد در دنیای نانو هستند. آنها با توجه به ماهیت نور مرئی و اساس کار میکروسکوپ‌های نوری نسبت به این گونه میکروسکوپ‌ها ارجحیت دارند. همان طور که می‌دانید طول موج نور مرئی بین 400 تا 700 نانومتر است، در […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا