فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

تاریخ انتشار:22 مرداد 1396

تعداد بازدید:[post-views]

دسته بندی: مقالات مفید،ویدئو

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید

۴.۸۳ از ۵

برچسب ها :رسوب دهی

عضویت در خبرنامه برای دریافت کدهای تخفیف و اطلاع از جشنواره ها و محصولات جدید در خبرنامه تمادکالا عضو شوید.

مقاله های تمادکالا

انواع کوره های آزمایشگاهی بر اساس دمای کاری

21 مهر 1398

مقدمه کوره های الکتریکی از دیدگاه های مختلف قابل دسته بندی هستند. یکی از این دسته بندی ها بر اساس دمای کاری آنها می باشد. به طور کلی ایجاد گرما و بالا رفتن درجه حرارت در کوره ها از طرق مختلف انجام می شود که در این مقاله قصد داریم آنها را با جزییات معرفی […]

راه های پیشگیری از ویروس کرونا و ضد عفونی

7 اسفند 1398

این روزه ها ویروس کرونا تبدیل به دغدغه ای شدید برای مردم ایران شده است. از آنجایی که افراد زیادی با تمادکالا تماس میگیرند و در این باره سوال میپرسند، تصمیم گرفتیم مقاله ای جامع در این باره بنویسیم تا در این روزهای نگرانی، اطلاعات در این باره در اختیارتان قرار دهد. کرونا چیست؟ کرونا […]

سدیم هیدروکسید، کاربرد ها و عوارض آن

24 آذر 1397

سدیم هیدروکسید، سود سوزآور یا کاستیک سودا (caustic soda) دارای فرمول شیمیایی NaOH است. این ماده جامدی سفید رنگ است که دارای دمای ذوب 1390 درجه سانتی گراد است. این ماده جاذب آب است و آب محیط اطراف خود را جذب میکند. به همین دلیل نیاز است که در نگهداری آن ملاحظات لازم انجام گیرد. […]

زایلین مخلوط چیست کاربرد ها و خطرات

4 شهریور 1399

تعریف زایلین مخلوط زایلین (Xylene) یا دی متیل بنزن (C6H4(CH3)2) نام سه ایزومر زایلین یعنی اورتو_زایلین ، متا_زایلین و پارا_زایلین است ولی به دلیل مخلوط بودن این سه ایزومر به آن مخلوط زایلین گفته می‌شود. این ماده با نام “زایلن” نیز شناخته می شود. زایلین، مایع ای بی رنگ و شفاف و یکی از ترکیبات […]