فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

دانلود فایل PDF مقاله   مغناطیس‌سنج نمونه ارتعاشی دستگاه مغناطیس سنج نمونه ارتعاشی یا به اختصار “VSM”(Vibrating Sample Magnetometer) جهت اندازه‌گیری خواص مغناطیسی مواد به کار گرفته می­ شود. رفتار مغناطیسی مواد مختلف دیامغناطیس، پارامغناطیس، فرومغناطیس و غیره، در شکل‌های مختلف پودر، جامد، فیلم نازک، تک بلور، مایع و غیره، به کمک VSM با رسم […]

کات کبود یکی از مواد بسیار پرکاربرد در شیمی، کشاورزی و دیگر صنایع است. در این مقاله به معرفی کات کبود و کاربردهای آن خواهیم پرداخت. کات کبود چیست؟ کات کبود یا مس(II) سولفات با فرمول شیمیایی CuSO4(H2O)x، یک ماده کریستالی آبی رنگ و شفاف است که تعداد آب‌های آن می‌تواند از 0 تا 5 […]

اتوکلاو تشکیل شده از دو کلمه Auto به معنی خودکار و cave به معنی قفل شونده است و دستگاهی است که برای استریل کردن مورد استفاده قرار می گیرد. این دستگاه که به منظور استریل کردن مراکز عمومی بهداشت، آزمایشگاه های بالینی، تحقیقاتی و میکروبیولوژی به کار می رود و از اهمیت به سزایی برخوردار […]

یکی از لزومات یک آزمایشگاه، تامین کردن وسایل و ایجاد فضایی ایمن برای آزمایشگر ها است.یکی از وسایل مورد نیاز برای تامین ایمنی افراد ، عینک آزمایشگاهی است. چشم از اصلی ترین اعضای بدن است که اگر مشکلی برای آن پیش بیاید فرد توان ادامه کار را نخواهد داشت و یا ادامه کار برای اون […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا