فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

دانلود فایل PDF مقاله اصول اولیه طیف­ سنجی فوتو­الکترونی پرتو ایکس طیف ­سنجی الکترونی روشی است که از الکترون­های مشخصه منتشر شده از جسم جامد برای آنالیز عنصرها (نه شکل برداری مانند میکروسکوپی الکترونی) استفاده می­کند. الکترون­های مشخصه (چه الکترون­های اوژه باشند یا فوتوالکترون­ها) با داشتن مقدار انرژی مشخص، عنصرهای شیمیایی را در نمونه­ های […]

کربن فعال پودری چیست کربن فعال پودری (Powdered Activated Carbons) ماده ایست که سطح فعال بسیار زیادی دارد و به همین دلیل نیز توانایی جذب بازه بسیار گسترده ای از مواد را دارد. کاربرد های این مدل از کربن فعال با کربن فعال گرانولی(Granular Activated Carbon) متفاوت است. از کربن فعال گرانولی بیشتر برای کاربردهای […]

تنوع بالای مواد شیمیایی در بعضی از مواقع موجب می شود بسیاری از مشتریان محصول مورد نظر خود را نیافته و سردرگم شوند. در این مقاله سعی بر این شده است تا با تمرکز بر دسته بندی مواد شیمیایی بر اساس کاربرد و تهیه لیست مواد شیمیایی این امکان به وجود آید تا مواد شیمیایی […]

نبرو کمیتی برداری است که با واحدهایی مانند نیوتن و پوند اندازه گیری می شود. در مقاله پیش رو به معرفی این کمیت، واحد های آن و تبدیل این واحد ها به یکدیگر خواهیم پرداخت. فروشگاه اینترنتی مواد شیمیایی و ظروف آزمایشگاهی این امکان را برای شما فراهم کرده است تا با تبدیل واحد آنلاین […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا