اصول عملکرد CVD(رسوب دهی بخار شیمیایی) (مقاله و ویدئو)

 

رسوب دهی شیمیایی بخار (Chemical Vapor Deposition) از ابتدا به عنوان یک راه موثر برای ساخت طیف وسیعی از قطعات و محصولات به عنوان یک فرآیند تولید جدید در چندین بخش صنعتی شامل صنعت نیمه هادی، صنعت سرامیک و غیره توسعه داده شده است. روش فوق بر اثر تلاش زیاد محققان دانشگاهی و صنعت در واحد های تحقیق و توسعه از گستره اولیه خود در صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک بسیار فراتر رفته است. از دلایل توسعه پذیر بودن روش های CVD می توان به توانایی تولید لایه هایی با تنوع زیاد ،پوشش فلزات، نیمه رسانا ها و ساخت لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی اشاره کرد. لایه های ایجاد شده معمولا در شکل بلوری یا شیشه ای (آمورف) و با کنترل خواص مطلوب بدست می آیند.
CVD جزء تکنیک هایی است که به طور نسبی پیشرفت زیادی داشته است. به طور کلی در روش CVD، یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار (و یا بر سطح بستر) بوجود می آید. تشکیل دوده به دلیل اکسید شدن ناقص هیزم در حال سوختن، در زمان های قبل از میلاد احتمالا قدیمی ترین نمونه رسوب گذاری با استفاده از CVD می باشد.

در ساده ترین صورت آن، CVD شامل جریان گاز یا گازهای پیش ماده در یک محفظه (Chamber) است. در محفظه فوق یک یا چند سطح گرم که قرار است پوشش دهی شوند، وجود دارد. در این روش واکنش های شیمیایی بر روی (و یا در نزدیکی) سطوح داغ رخ می دهد. در نتیجه رسوب به صورت یک فیلم نازک بر روی سطح به وجود می آید. این فرآیند منجر به تولید مواد شیمیایی می شود. همچنین مواد زائد و محصولات جانبی نیز بوجود می آیند که از محفظه، همراه با گازهای پیش ماده که واکنش نداده اند خارج می شود. رسوب دهی به طور معمول در دماهای حدود 1000 درجه سانتیگراد انجام می پذیرد. برخلاف رسوب دهی فیزیکی فاز بخار (PVD) که فرایندهایی مانند تبخیر، پراکنش و تصعید را شامل می شود، روش CVD دربرگیرنده تغییرات (واکنش های) شیمیایی در پیش ماده (یا بین پیش ماده ها) است.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/388

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۳.۸۹ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

مواد شیمیایی موجود در انواع شامپوها شامپوها یکی از پرکاربردترین محصولات بهداشتی هستند که در انواع مختلفی ساخته می شوند. دلیل این همه تنوع و گوناگونی به جهت تفاوت خواص این محصولات روی مو می باشد. موضوع اصلی این است شما باید بدانید که فرمولاسیون ساخت شامپو چیست و حاوی چه موادی است. به این […]

کوره آزمایشگاهی چیست؟ کوره آزمایشگاهی (laboratory Furnace ) یکی از تجهیزاتی است که در آزمایشگاه ها کاملا کاربردی بوده و بسیار مورد استفاده قرار می گیرد و وسیله‌ای برای انجام انواع آزمایشگاه‌های عمومی و تخصصی به حساب می آید. این وسیله یک جزء جدانشدنی و ضروری در هر آزمایشگاه بوده که دارای اهمیت و کارایی […]

دستگاه آب مقطرگیری یا دستگاه تقطیر، دستگاهی است که در چند مرحله، آب شور و آب های معمولی را به آب خالص و آزمایشگاهی تبدیل می کند. طرز کار دستگاه آب مقطرگیری در این دستگاه آب به وسیله گرمایی که به آن داده شده، تبدیل به بخار می گردد. این عمل باعث می شود که […]

همانطور که برای تهیه هر غذایی به موادی خاص نیاز است، برای بافتن یک قالی هم به مواد اولیه احتیاج داریم. از جمله مواد به کار رفته در بافت قالی، عبارتند از: فروش مواد شیمیایی قالی دست بافت: 1-پشم، 2-پنبه، 3-ابریشم  قالی ماشینی: 1- الیاف مصنوعی (مانند پلی استر و ریون) مواد شیمیایی مورد استفاده […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا