اصول عملکرد CVD(رسوب دهی بخار شیمیایی) (مقاله و ویدئو)

 

رسوب دهی شیمیایی بخار (Chemical Vapor Deposition) از ابتدا به عنوان یک راه موثر برای ساخت طیف وسیعی از قطعات و محصولات به عنوان یک فرآیند تولید جدید در چندین بخش صنعتی شامل صنعت نیمه هادی، صنعت سرامیک و غیره توسعه داده شده است. روش فوق بر اثر تلاش زیاد محققان دانشگاهی و صنعت در واحد های تحقیق و توسعه از گستره اولیه خود در صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک بسیار فراتر رفته است. از دلایل توسعه پذیر بودن روش های CVD می توان به توانایی تولید لایه هایی با تنوع زیاد ،پوشش فلزات، نیمه رسانا ها و ساخت لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی اشاره کرد. لایه های ایجاد شده معمولا در شکل بلوری یا شیشه ای (آمورف) و با کنترل خواص مطلوب بدست می آیند.
CVD جزء تکنیک هایی است که به طور نسبی پیشرفت زیادی داشته است. به طور کلی در روش CVD، یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار (و یا بر سطح بستر) بوجود می آید. تشکیل دوده به دلیل اکسید شدن ناقص هیزم در حال سوختن، در زمان های قبل از میلاد احتمالا قدیمی ترین نمونه رسوب گذاری با استفاده از CVD می باشد.

در ساده ترین صورت آن، CVD شامل جریان گاز یا گازهای پیش ماده در یک محفظه (Chamber) است. در محفظه فوق یک یا چند سطح گرم که قرار است پوشش دهی شوند، وجود دارد. در این روش واکنش های شیمیایی بر روی (و یا در نزدیکی) سطوح داغ رخ می دهد. در نتیجه رسوب به صورت یک فیلم نازک بر روی سطح به وجود می آید. این فرآیند منجر به تولید مواد شیمیایی می شود. همچنین مواد زائد و محصولات جانبی نیز بوجود می آیند که از محفظه، همراه با گازهای پیش ماده که واکنش نداده اند خارج می شود. رسوب دهی به طور معمول در دماهای حدود 1000 درجه سانتیگراد انجام می پذیرد. برخلاف رسوب دهی فیزیکی فاز بخار (PVD) که فرایندهایی مانند تبخیر، پراکنش و تصعید را شامل می شود، روش CVD دربرگیرنده تغییرات (واکنش های) شیمیایی در پیش ماده (یا بین پیش ماده ها) است.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/388

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۳.۸۹ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

آماده­ سازی نمونه جامد نمونه ­های جامد مورد استفاده در تست FTIR می­ توانند به دو شکل ورقه نازک یا پودر باشند. نمونه­ های ورقه ­ای بیشتر مواد پلیمری هستند. قراردادن ورقه در محلول­ های پلیمری متداول ­ترین روش است. فیلم ­های پلیمر هم ­چنین می ­توانند از طریق فشار دادن مکانیکی آن ­ها در […]

با پیشرفت فناوری و ظهور میکروسکوپ های الکترونی، انواع مختلفی از این میکروسکوپ ها با روشهای کاری مختلفی ایجاد شدند. یکی از انواع میکروسکوپ ها که امروزه کاربرد زیادی دارد، میکروسکوپ نیروی اتمی است. این میکروسکوپ مانند دیگر میکروسکوپ های جدید، از الکترون استفاده نمیکند. عملکرد این میکروسکوپ بر اساس نیروی بین نوک پروب میکروسکوپ […]

کاربرد اسید سولفوریک در خاک پسته پسته گیاهی است که در برابر سرمای شدید زمستان و گرمای زیاد تابستان مقاوم است. با زمین و هوای مرطوب ناسازگار و رطوبت باعث پوسیدگی و خشکی آن می شود. در واقع این نوع درخت به کم آبی و خشکی مقاومت زیادی نشان می دهد حتی می توان مدت […]

کربوکسی متیل سلولز، CMC یا سلولزگام یک گرد سفیدرنگ و بی بود است که امروزه در دو گرید خوراکی و صنعتی مورد استفاده قرار می گیرد. کربوکسی متیل سلولز از مشتقات سلولز است که در آن به جای برخی از گروه های هیدکروکسیل (-OH) گروه کربوکسی متیل (-CH2-COOH) جایگزین شده است. این ماده یک پلیمر […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا