دانلود فایل PDF مقاله

تکنولوژی کاهش سرعت پرتو (Beam Deceleration Technology) در تصویربرداری SEM با بالاترین قدرت تفکیک از نمونه های زیستی بدون تخریب آنها می باشد.

دراین فناوری، یک ولتاژ بایاس منفی روی نمونه اعمال می شودکه باعث کاهش انرژی پرتو فرودی می شود. در نتیجه الکترون های ساطع شده از نمونه اعم از بازگشتی و ثانویه انرژی کمی در حد الکترون های ثانویه (کمتر از ۵۰ الکترون ولت) دارند.

BDT کارایی ستون الکترونی در میکروسکوپ را با کاهش انحراف نوری افزایش می‌دهد. بدین ترتیب قادر به تصویر‌‌برداری با رزولوشن بالا در نقاط کوچک و در انرژی‌های پایین است.

پرتوهای با انرژی کم برای کاهش اثرات شارژ در نمونه‌های غیررسانا و نمونه‌های حساس به پرتو از قبیل لایه‌های ترانزیستور در مقطع عرضی مدار‌های یکپارچه برای بررسی شکست، ماده‌های دی‌الکتریک با ثابت دی‌الکتریک کم و فوتورزیستور‌ها استفاده می‌شود. روش کاهش سرعت پرتو به طور خاص مناسب نمونه‌های زیستی در وضعیت لایه‌نشانی نشده با پرتوهای با انرژی خیلی کم است که به نمونه صدمه‌‌ای وارد نمی‌شود. در‌‌این حالت بیشترین رزولوشن در پرتوهای با انرژی کم در ازای بیشترین حساسیت سطحی، توپوگرافی عالی و کنتراست ماده بدست می‌‌آید.

عکس بالا: توپ‌های قلع بر روی بستر کربنی که در حالت BDT در تصویر‌برداری SEM در 1 keV با استفاده از آشکارساز الکترونهای ثانویه تصویر برداری شده‌اند و اطلاعات توپوگرافیک به همراه اثر معمول لبه‌‌ای را در اختیار می‌گذارند.

عکس پایین: توپ‌های قلع بر روی بستر کربنی که در حالت BDT در 1 keV با استفاده از آشکارساز الکترونهای ثانویه تصویر برداری شده‌اند که اطلاعات ترکیبی ماده را می‌دهند.

منبع:

http://www.tescan.com/en-us/technology/detectors/beam-deceleration-technology

در صورتی که مایل به انجام تست SEM در تمادکالا هستید، اینجا کلیک کنید.

برای دریافت مشاوره رایگان در مورد آنالیزهای مختلف اینجا کلیک کنید.

دریافت آنالیز SEM