فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

  در این مقاله به بررسی برخی از دیگر گرید های موجود میپردازیم که بسته به نوع ماده و مصرف آن جدا شده اند. برای دیدن گرید بندی های اصلی و معروفتر که برای مواد تعریف می شوند، میتوانید مقاله “انواع گرید مواد شیمیایی(بخش اول)” را مطالعه فرمایید. گرید های عمومی مواد شیمیایی   گرید […]

هیتر آزمایشگاهی چیست؟ یکی از تجهیزات آزمایشگاهی ضروری در هر آزمایشگاهی هیتر است که در انواع مختلف و بسته به کاربردی که دارد تولید و به بازار عرضه می شود. هیتر آزمایشگاهی دستگاهی است که به آرامی و تدریجی، مایعات و محلول ها را در آزمایشگاه ها گرم می کند و در دو مدل تولید […]

جوهر نمک و وایتکس هر دو از تمیزکننده های مورد استفاده در منازل و صنعت می باشند اما تفاوت این دو ماده در چیست؟ جوهر نمک یا همان هیدروکلریک اسید با فرمول شیمیایی HCL یکی از مهم ترین حلال ها برای استفاده صنعتی و خانگی به شمار می رود. این اسید به علت خورندگی و […]

روش های تمیز کردن طلا که بسته به نوع ماده ی تمیز کننده دارد یکی از مواردی است که در حفظ و نگهداری طلا و همچنین طول عمر آن تاثیر بسزایی خواهد داشت. با توجه به اهمیت این موضوع تصمیم گرفتیم در این مقاله روش های کاربردی را برای تمیز کردن طلا و جواهرات و […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا