فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

امروزه در کشور ایران با بالارفتن قیمت اجناس به طور روزمره، حفظ کردن وسایل مصرفی از استهلاک و تخریب شده، مهم است و باید برای تحقق این مهم راهکارهایی اتخاذ شود. در این میان لاستیک خودرو و موتور و حتی وسایل نقلیه سنگین استثنا نیست و مشابه سایر وسایل راهکارهایی برای افزایش طول عمر و […]

برای مشاهده نمونه‌های بالینی در زیر میکروسکوپ، از تکنیک‌های متفاوتی استفاده می‌شود. به کلی، معمولا میکروارگانیسم‌ها را نمی‌توان بدون رنگ آمیزی در زیر میکروسکوپ مشاهده کرد (به جز در مواردی خاص، که از میکروسکوپ با مود زمینه تاریک استفاده می‌شود). در بررسی میکروارگانیسم‌ها، از رنگ‌های متفاوتی استفاده می‌شود، که براساس هدف معینی انتخاب می‌شوند. به […]

سانتریفیوژها می توانند آئروسل ایجاد کنند و این باید با هر بار استفاده در نظر گرفته شود. اقدامات احتیاطی که باید رعایت شود، به آنچه که استفاده می شود، بستگی دارد، به طور مثال، اگر مواد خطرناکی مانند مواد سرطان زا، مواد بسیار سمی یا عفونی در یک سانتریفیوژ قرار گیرد، باید اقدامات احتیاطی انجام […]

یکی از اجزا بسیار مهم خودرو رادیاتور آن است که با چرخاندن آب درون موتور، مانع از افزایش بیش از حد حرارت آن می شود. در مقاله پیش رو قصد داریم در مورد رادیاتور و مایع درون آن به بحث بپردازیم. تشکیل رسوب در رادیاتور مشکلی شایع است. علت این امر استفاده از آب نامناسب […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا