فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

علائم خطر مواد شیمیایی (GHS ها)   بر روی بسته بندی موادشیمیایی، علائمی درج شده اند که بیان کننده ی خطرات مواد هستند. بعضی از مواد هیچگونه علائم خطر خاصی ندارند که معمولا جای خالی آنها بر روی مواد موجود است. مانند تصویر زیر: جای خالی GHS ها   دایره شعله ور: -گاز های اکسیدکننده […]

تعریف آون(فور) آون یا فور خشک کننده یکی از وسایل ضروری در آزمایشگاه ها است که برای خشک کردن و استریل کردن ظروف شیشه ای و فلزی به کار برده می‌شود. آون(فور) در تمام آزمایشگاه های پژوهشی و صنعتی مورد استفاده قرار می‌گیرد و اینکه چه طور وسایل آزمایشگاهی و مواد را خشک و یا […]

نقره از روزگار قدیم به عنوان ماده ای برای ضد عفونی کردن زخم ها و سطوح مورد استفاده قرار می گرفته است. بعدها با ظهور نانوفناوری اثرات ضد باکتری نانوذرات نقره روز به روز بیشتر مورد توجه قرار گرفته که نتیجه آن تولید انواع محصولات ضد عفونی کننده و پانسمانی بر پایه این ذرات بوده […]

احتمالا بارها پیش آمده که گاز خانه تان به حدی کثیف شده که تکه های سوخته غذا و روغن روی آن مانده اند و به هیچ عنوان تمیز نمیشوند. تمیز کردن اجاق گاز جزو سختترین بخش های تمیز کردن خانه است. خیلی اوقات برای تمیز کردن راحتتر گاز، لازم است تا از مواد تمیزکننده کمک […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا