فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

اولین سوالی که به ذهن می رسد این است که گرافن چیست؟ گرافن یکی از ساختار های کربنی است که در قرن اخیر کشف شده است. سوال بعدی کاربرد گرافن و روش سنتز گرافن است؛ ساختار گرافن بدلیل ویژگی هایی که دارد، کاربرد زیادی در صنایع مختلف پیدا کرده است که در مقاله پیش رو […]

چهارشنبه سوری کم خطر با تمادکالا چهارشنبه سوری، از قدیمی ترین رسوم ایران باستان است. این جشن از غروب آخرین سه شنبه سال تا پس از نیمه شب آخرین چهارشنبه سال است و از اصلی ترین مشخصات این رسم، برپا کردن آتش و پریدن از روی آن است. این رسم در ایران باستان، به عنوان […]

کاربرد اسید سولفوریک در خاک پسته پسته گیاهی است که در برابر سرمای شدید زمستان و گرمای زیاد تابستان مقاوم است. با زمین و هوای مرطوب ناسازگار و رطوبت باعث پوسیدگی و خشکی آن می شود. در واقع این نوع درخت به کم آبی و خشکی مقاومت زیادی نشان می دهد حتی می توان مدت […]

شیمی یکی از حوزه های علوم است که آزمایش های جذاب فراوانی در آن وجود دارد. بسیاری از این آزمایش ها برای می توانند برای کودکان بسیار مفید، آموزنده و لذت بخش باشند. در مقاله پیش رو سعی شده لیستی از این آزمایش های شیمی که برای کودکان جذاب هستند، تهیه شود. این آزمایش ها […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا