فرآیند اسپاترینگ Sputtering (فیلم و مقاله)

پیشرفت های گسترده ای در فناوری لایه های نازک روی داده است که در بخش های مختلف صنعت کاربرد گسترده ای دارد. تا به امروز روش های مختلفی برای ساخت لایه های نازک معرفی شده است که روش کندوپاش (Sputtering) یکی از انواع روش های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition – PVD) محسوب می شودکه لایه نشانی فیزیکی بخار نیز به نوبه خود جز روش های لایه نشانی در خلا است.

دانلود ویدئو

مانند سایر روش های لایه نشانی فیزیکی تحت شرایط خلا، روش کندوپاش نیز شامل (الف) تبخیر ماده منبع؛ (ب) انتقال بخار از منبع به زیرلایه و (ج) تشکیل لایه نازک روی زیرلایه با انباشت بخار منبع مورد نظر است. در روش کندوپاش، برای این که ماده منبع به فاز بخار خود منتقل شود، از بر هم کنش فیزیکی ذره هایی که به ماده منبع یا هدف (target) برخورد می کنند استفاده کرد. ماده هدف که به ولتاژ منفی متصل است، نقش کاتد را دارد. با بمباران و برخورد ذرات پر انرژی به سطح هدف، اتم ها یا مولکول های آن از سطح جدا شده و به بیرون پرتاب می شوند و درمیدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می‌گیرند. زیرلایه به ولتاژ مثبت متصل است و در واقع آند است و لایه ای از جنس هدف روی آن انباشت می شود.

این روش برای ایجاد پوشش و ساخت لایه های نازکی که کاربردهای مانند اپتیکی، ذخیره سازی مغناطیسی دارند، استفاده می شود.

در فرآیند کندوپاش، در اثر تخلیه الکتریکی و یونیزاسیون گازی که به داخل محفظه کندوپاش وارد شده است، یون های مثبت ایجاد می شوند، این یون ها به سطح هدف برخورد و با انتقال انرژی و تکانه به آن، اتم هایی را از سطح هدف جدا می کنند که هدف را با مقادیر مشخصی از انرژی ترک می کنند. سپس این اتم ها در محیط خلا به سمت زیرلایه حرکت کرده و بر روی آن جمع می-شوند و در نتیجه یک لایه نازک ایجاد می شود.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/295

 
خرید دستگاه اسپاترینگ

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۴.۸۳ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

سختی چیست به مقاومت هر ماده در برابر تغییر شکل پلاستیک، سختی گفته می شود. سختی، میزان مقاومت سطح ماده در برابر تغییر شکل دائم یا پلاستیک است. از آنجایی که در هنگام تست میزان سختی ماده، نفوذکننده به سطح فشار داده می‌شود، سختی را می‌توان به عنوان میزان مقاومت ماده در برابر نیروی فشاری […]

بسیار پیش می‌آید که فرش یا مبلمان در اثر بی دقتی، هول شدن، بازی کردن بچه کوچک و … کثیف می‌شوند. این کثیفی‌ها شامل  ریختن چای و قهوه، بستنی و خورشت و … می‌تواند باشد. اما با وجودی که یک بخشی از فرش یا مبلمان کثیف شده است، اما شستن تمام فرش معمولا راه منطقی […]

مواد شیمیایی خطرناک به موادی گفته می شود که می تواند موجب آسیب آنی و فوری به افراد، تجهیزات و محیط گردند. کالاهای خطرناک در بسیاری از کشورها بر اساس سیستم ملل متحد(UN) طبقه بندی شده و برچسب گذاری می شوند. این سیستم کمک می کند که خصوصیات و خطرات اینگونه مواد سریعاً قابل تشخیص باشد. […]

خاصیت ضد میکروبی نقره از دیرباز شناخته شده بود و به همین دلیل هم در بسیاری موارد مورد استفاده قرار می گرفت. امروز با پیشرفت فناوری و تولید نانوذرات نقره، خاصیت آنتی باکتریال آن بسیار افزایش یافته است. نانوذرات نقره با توجه به اینکه نسبت سطح به حجمشان افزایش یافته است، خاصیت ضد میکروبی و […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا