اصول عملکرد CVD(رسوب دهی بخار شیمیایی) (مقاله و ویدئو)

 

رسوب دهی شیمیایی بخار (Chemical Vapor Deposition) از ابتدا به عنوان یک راه موثر برای ساخت طیف وسیعی از قطعات و محصولات به عنوان یک فرآیند تولید جدید در چندین بخش صنعتی شامل صنعت نیمه هادی، صنعت سرامیک و غیره توسعه داده شده است. روش فوق بر اثر تلاش زیاد محققان دانشگاهی و صنعت در واحد های تحقیق و توسعه از گستره اولیه خود در صنایع نیمه هادی و میکروالکترونیک بسیار فراتر رفته است. از دلایل توسعه پذیر بودن روش های CVD می توان به توانایی تولید لایه هایی با تنوع زیاد ،پوشش فلزات، نیمه رسانا ها و ساخت لایه هایی با ترکیبات آلی و غیر آلی اشاره کرد. لایه های ایجاد شده معمولا در شکل بلوری یا شیشه ای (آمورف) و با کنترل خواص مطلوب بدست می آیند.
CVD جزء تکنیک هایی است که به طور نسبی پیشرفت زیادی داشته است. به طور کلی در روش CVD، یک ماده ی جامد از واکنش شیمیایی در فاز بخار (و یا بر سطح بستر) بوجود می آید. تشکیل دوده به دلیل اکسید شدن ناقص هیزم در حال سوختن، در زمان های قبل از میلاد احتمالا قدیمی ترین نمونه رسوب گذاری با استفاده از CVD می باشد.

در ساده ترین صورت آن، CVD شامل جریان گاز یا گازهای پیش ماده در یک محفظه (Chamber) است. در محفظه فوق یک یا چند سطح گرم که قرار است پوشش دهی شوند، وجود دارد. در این روش واکنش های شیمیایی بر روی (و یا در نزدیکی) سطوح داغ رخ می دهد. در نتیجه رسوب به صورت یک فیلم نازک بر روی سطح به وجود می آید. این فرآیند منجر به تولید مواد شیمیایی می شود. همچنین مواد زائد و محصولات جانبی نیز بوجود می آیند که از محفظه، همراه با گازهای پیش ماده که واکنش نداده اند خارج می شود. رسوب دهی به طور معمول در دماهای حدود 1000 درجه سانتیگراد انجام می پذیرد. برخلاف رسوب دهی فیزیکی فاز بخار (PVD) که فرایندهایی مانند تبخیر، پراکنش و تصعید را شامل می شود، روش CVD دربرگیرنده تغییرات (واکنش های) شیمیایی در پیش ماده (یا بین پیش ماده ها) است.

منبع:
http://edu.nano.ir/paper/388

به محتوای این صفحه امتیاز دهید


۳.۸۹ از ۵
برچسب ها :

مقاله های تمادکالا

درخواست آنالیز SEM آشکارساز STEM) Scanning transmission electron microscopy) در SEM: STEM یک قابلیت برای ترکیب اصول مورد استفاده در TEM و SEM است. این آشکارساز یک تکنیک معروف برای آزمایشگاه‌هایی است که دستگاه TEM ندارند. دقت شود که آشکارساز و میکروسکوپ STEM با یکدیگر تفاوت دارند. آشکارسازهای STEM با اتصال به سیستم های SEM،FIB-SEM  یا  FESEM […]

میکروسکوپ نوری قطبیده شده (Polarizing Microscope) نور از دو میدان الکتریکی و مغناطیسی عمود بر هم تشکیل شده و بطور سینوسی در حال نوسان می‌باشند. ارتعاشات میدان الکتریکی نور غیر پلاریزه در یک نقطه در همه جهات می‌باشد. در اکثر مواد وقتی یک دسته پرتو نوری به آنها وارد شود سرعت انتشار و نحوه انتشار […]

با پیدایش بیماری های مختلف مانند دیابت و بیماری های قلبی و عروقی، بشر به سمت استفاده از شیرین کننده های مصنوعی و استفاده کمتر از قندها تمایل پیدا کرده است. در مقاله یپش رو قصد داریم به معرفی این شیرین کننده های مصنوعی، قدرت شیرین کنندگی و تاثیر هرکدام بپردازیم و با انواع شیرین کننده […]

یکی از روش­های خشک کردن و استریل کردن وسایل شیشه ای، ابزار و تجهیزات آزمایشگاهی، استفاده از آون و یا فور می­باشد. آون­های صنعتی برای فرآیندهای تولید با حرارت بالا مانند فرآیندهای بازپخت، خشک کردن، پخت و تمپر کردن طراحی شده­ اند. آون دارای یک ترموستات و یک نمایشگر دیجیتال است که از طریق آنها، […]

دیدگاه‌ها بسته شده‌اند.

برخی از مشتریان تمادکالا